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電子半導(dǎo)體廢水的來源有哪些?

問答庫 2023年06月13日 13:51 1686 問答庫

電子半導(dǎo)體廢水的來源有哪些?

  電子半導(dǎo)體廢水的來源有哪些?


  含氟廢水主要來源于來自于自芯片制造過程中的擴散工序及化學機械研磨工序,在對硅片及相關(guān)器皿的清洗過程中也多次用到氫氟酸。對粘膜、上呼吸道、眼睛、皮膚組織有極強的破壞作用。污染物主要為氟離子。含磷廢水主要來源于生產(chǎn)工程中的鋁刻蝕液。有機廢水,由于生產(chǎn)工藝的不同,有機溶劑的使用量對于半導(dǎo)體行業(yè)而言具有很大的差距。但是作為清洗劑,有機溶劑仍然普遍使用在制造封裝的各個環(huán)節(jié)上。部分溶劑則成為有機廢水排放。有機廢水主要來源于IPA溶劑、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機廢水。


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標簽: 污水處理

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